Carboneto de silício verde para polimento de substratos semicondutores
O carboneto de silício verde (SiC) é um material abrasivo de elevada pureza amplamente utilizado no polimento de substratos semicondutores devido à sua dureza excecional (9,2–9,5 Mohs), estabilidade térmica e inércia química. Eis uma análise detalhada do seu papel no polimento de substratos semicondutores: 1. Principais propriedades do SiC verde